Mikrosystemtechnik (WS 2023/24)

Vorlesung: Donnerstag, 10.15 - 11.45 Uhr, Geb. C4.3, kl. Hörsaal I (oder online via Teams nach Anmeldung)

Übungen etwa alle 14 Tage, Mittwoch 14.15 - 15.45 Uhr, Geb. C4.3, kl. Hörsaal I

Hinweise zu den Übungen

Übung findet 14 täglich statt, Termine siehe unten
Übungsblätter mit Aufgaben zum Verständnis und Vorrechnen, ca. 1-2 Wochen vor der Übung
Bonuspunkte für Übungen
- Vor der Übung gibt jede(r) an, ob er/sie eine Aufgabe bearbeitet hat und erläutern/vorrechnen kann --> 1 Bonuspunkt je 10% bearbeiteter Aufgaben für die Klausur (Klausur: ~100 P, 50 P benötigt zum Bestehen)
- In der Übung wird zufällig aus den Angaben ausgelost, wer die Aufgabe vorstellt
  Nach der Übung werden zwei weitere ausgelost, die ihre Lösung innerhalb von 30 min zusenden
  --> Stellt sich heraus, dass die Aufgabe nicht bearbeitet wurde, verfallen alle Bonuspunkte
- Hat niemand die Aufgabe vorbereitet, wird sie gemeinsam diskutiert (Verständnisaufgaben) oder von der/dem Betreuer/in vorgerechnet
Die Bonuspunkte bleiben ein Jahr gültig

Betreuung der Übungen: Myriel Thinnes, Leopold Weiland

Vorlesungen aus dem WS20/21 wurden als kommentierte Präsentationen (Format mp4) über Teams bereitgestellt.

Hinweise zur Klausur

zugelassene Hilfsmittel zur Klausur sind hier aufgeführt.

Download der Vorlesungsfolien

Vorlesungen:	Datum:	Inhalt:
Vorlesung 01	26.10.2023	Kap. 0: Organisatorisches (als ppsx) - Update! Kap. 1: Einführung, Geschichte, Skaleneffekte (als ppsx) K.E. Petersen: Silicon as a Mechanical Material (als pdf) Aufruf zum COSIMA-Wettbewerb (2023)
Vorlesung 02	02.11.2023	Abschluss Kap. 1 Kap. 2.1: Technologieüberblick, Reinraumtechnik (als ppsx)
Vorlesung 03	09.11.2023	Kap. 2.2: Materialien, Kristallographie, Si: Eigenschaften und Herstellung (als ppsx)
Übung 1	15.11.2023	Übungsblatt 1 Studentische Lösung
Vorlesung 04	16.11.2022	Kap. 2.3: SiO₂: Eigenschaften und Herstellung (als ppsx)
Vorlesung 05	23.11.2023	Kap. 2.4: Dünnschichtabscheidung (als ppsx)
Übung 2	29.11.2023	Übungsblatt 2 Studentische Lösung
Vorlesung 06	30.12.2023	Abschluss Kap. 2.4
Vorlesung 07	06.12.2023 14.15 - 15.45 Uhr	Kap. 2.5: Dotierung (als ppsx)
Übung 3	13.12.2023	Übungsblatt 3 Studentische Lösung
Vorlesung 08	14.12.2023	Kap. 2.6: Lithographie (als ppsx)
Vorlesung 09	21.12.2023	Abschluss Kap. 2.6 Kap. 2.7: Ätztechnik (als ppsx)
Vorlesung 10	04.01.2024	Abschluss Kap. 2.7
Übung 4	10.01.2024	Übungsblatt 4 Studentische Lösung
Vorlesung 11	11.01.2024	Kap. 2.8: Volumen- und Oberflächenmikromechanik (als ppsx)
Vorlesung 12	18.01.2024	Kap. 2.9: Waferbonden (als ppsx) Kap. 2.10: Aufbau- und Verbindungstechnik (als ppsx)
Vorlesung 13 Termintausch	24.01.2024	Kap. 2.11: Galvanik, Abformtechniken, LIGA-Verfahren (als ppsx) Kap. 2.12: Zusammenfassung Mikrotechnologien am Beispiel des Drucksensors (als ppsx)
Übung 5 Termintausch	25.01.2024	Übungsblatt 5 Studentische (Teil-)Lösung
Vorlesung 14	01.02.2024	Kap. 3.1: Passive Mikrokomponenten (als ppsx) Kap. 3.2: Überblick Mikrosensorik (als ppsx)
Übung 6	07.02.2024	Übungsblatt 6
Vorlesung 15	08.02.2024	Kap. 3.3: Mikroaktorik, -fluidik (als ppsx) Kap. 3.4: Mikrosystemtechnik @ LMT (als ppsx)
Klausur		1. Klausurtermin: Mittwoch, 6. März 2024, 10 - 12 Uhr, Geb. A5.1, Raum -1.03 2. Klausurtermin: Mittwoch, 10. April 2024, 10 - 12 Uhr, Geb. A5.1, Raum -1.03

Weitere Informationen siehe Modulbeschreibung

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