Fachrichtung Systems Engineering
Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Vorlesung und Übung MIKROSYSTEMTECHNIK WS 26/27
Vorlesung: Donnerstag, 10.15 - 11.45 Uhr, Geb. A5.1, Seminarraum 0.09 (ab 22.10.) (oder online via Teams nach Anmeldung)
Übungen etwa alle 14 Tage, siehe Terminplan; Donnerstag, 8:30 - 10:00 Uhr, Geb. A5.1, Raum -1.22
Hinweise zu den Übungen
- Übung findet ca. 14 täglich statt, Termine siehe unten
- Übungsblätter mit Aufgaben zum Verständnis und Vorrechnen, ca. 1-2 Wochen vor der Übung
- Bonuspunkte für Übungen
- Vor der Übung gibt jede(r) an, ob er/sie eine Aufgabe bearbeitet hat und erläutern/vorrechnen kann
--> 1 Bonuspunkt je 10% bearbeiteter Aufgaben für die Klausur (Klausur: ~100 P, 50 P benötigt zum Bestehen) - In der Übung werden zufällig gemäß den Angaben Studierende ausgelost, die die Aufgaben vorstellen
Nach der Übung werden zwei weitere Studiernde ausgelost, die ihre Lösungen innerhalb von 30 min zusenden
--> Stellt sich heraus, dass die Aufgabe nicht bearbeitet wurde, verfallen alle Bonuspunkte - Hat niemand die Aufgabe vorbereitet, wird sie gemeinsam diskutiert (Verständnisaufgaben) oder von der/dem Betreuer/in vorgerechnet
- Vor der Übung gibt jede(r) an, ob er/sie eine Aufgabe bearbeitet hat und erläutern/vorrechnen kann
- Die Bonuspunkte bleiben ein Jahr gültig
Betreuung der Übungen: Myriel Thinnes, Nick Sträßer
Vorlesungen aus dem WS20/21 wurden als kommentierte Präsentationen (Format mp4) über Teams bereitgestellt.
Hinweise zur Klausur
- zugelassene Hilfsmittel zur Klausur sind im Teams zu finden.
Termine und Inhalte der Vorlesungen und Übungen
(die angegebenen Inhalte sind unverbindlich)
| Vorlesungen: | Datum: | Inhalt: |
| Vorlesung 01 | 22.10.2026 |
Kap. 0: Organisatorisches Kap. 1: Einführung, Geschichte, Skaleneffekte K.E. Petersen: Silicon as a Mechanical Material Aufruf zum COSIMA-Wettbewerb |
| Vorlesung 02 | 29.10.2026 | Kap. 2.1: Technologieüberblick, Reinraumtechnik |
| Vorlesung 03 | 05.11.2026 Achtung Raumwechsel: Geb. A5.1, Raum -1.22 |
Kap. 2.2: Materialien, Kristallographie, Si: Eigenschaften und Herstellung |
| Übung 1 | 12.11.2026 8:30 - 10:00 Uhr |
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| Vorlesung 04 | 12.11.2026 | Kap. 2.2: Abschluss Kap. 2.3: SiO2: Eigenschaften und Herstellung |
| Vorlesung 05 | 19.11.2026 | Kap. 2.4: Schichtabscheidung: Überblick und CVD-Verfahren |
| Übung 2 | 26.11.2026 8:30 - 10:00 Uhr |
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| Vorlesung 06 | 26.11.2026 | Fortsetzung Kap. 2.4: PVD-Verfahren |
| Vorlesung 07 | 03.12.202 | Kap. 2.5: Dotiertechniken: Diffusion, Ionenimplantation, Annealing |
| Übung 3 | 10.12.2026 8:30 - 10:00 Uhr |
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| Vorlesung 08 | 10.12.2026 | Kap. 2.6: Lithografie: Kontakt- und Proximity-Belichtung, Waferstepper, Lacktechnik |
| Vorlesung 09 | 17.12.2026 | Kap. 2.7: Ätztechnik |
| Übung 4 | 07.01.2027 8:30 - 10:00 Uhr |
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| Vorlesung 10 | 07.01.2027 | Kap. 2.8: Volumen- und Oberflächenmikromechanik |
| Vorlesung 11 | 14.01.2027 | Kap. 2.9: Waferbonden Kap. 2.10: Aufbau- und Verbindungstechnik |
| Vorlesung 12 |
Doppeltermin 21.01.2027 8:30 - 10:00 Uhr |
Kap. 2.11: Galvanik, Abformtechniken, LIGA-Verfahren Kap. 2.12: Zusammenfassung Mikrotechnologien am Beispiel des Drucksensors |
| Vorlesung 13 | 21.01.2027 | Kap. 3.1: Passive Mikrokomponenten Kap. 3.2: Überblick Mikrosensorik |
| Übung 5 | 28.01.2027 10:15 - 11:45 Uhr |
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| Übung 6 | 04.02.2027 8:30 - 10:00 Uhr |
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| Vorlesung 14 | 04.02.2027 | Kap. 3.3: Mikroaktorik, -fluidik Kap. 3.4: Mikrosystemtechnik @ LMT |
| Klausuren es werden zwei gleichwertige Klausuren angeboten, einmal nach dem WS, die zweite nach Absprache nach WS oder SS |
1. Klausurtermin (nach dem Wintersemester): 2. Klausurtermin: |
Weitere Informationen siehe Modulbeschreibung
Rückfragen, Anmerkungen bitte an