Fachrichtung Systems Engineering
Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Vorlesung: Donnerstag, 10.15 - 11.45 Uhr, Geb. C4.3, kl. Hörsaal I (oder online via Teams nach Anmeldung)
Übungen etwa alle 14 Tage, Donnerstag 16.00 - 17.30 Uhr, Geb. C4.3, kl. Hörsaal I
Hinweise zu den Übungen
- Übung findet 14 täglich statt, Termine siehe unten
- Übungsblätter mit Aufgaben zum Verständnis und Vorrechnen, ca. 1-2 Wochen vor der Übung
- Bonuspunkte für Übungen
- Vor der Übung gibt jede(r) an, ob er/sie eine Aufgabe bearbeitet hat und erläutern/vorrechnen kann --> 1 Bonuspunkt je 10% bearbeiteter Aufgaben für die Klausur (Klausur: ~100 P, 50 P benötigt zum Bestehen)
- In der Übung wird zufällig aus den Angaben ausgelost, wer die Aufgabe vorstellt
Nach der Übung werden zwei weitere ausgelost, die ihre Lösung innerhalb von 30 min zusenden
--> Stellt sich heraus, dass die Aufgabe nicht bearbeitet wurde, verfallen alle Bonuspunkte - Hat niemand die Aufgabe vorbereitet, wird sie gemeinsam diskutiert (Verständnisaufgaben) oder von der/dem Betreuer/in vorgerechnet
- Die Bonuspunkte bleiben ein Jahr gültig
Betreuung der Übungen: Myriel Thinnes, Noah Zirkel
Vorlesungen aus dem WS20/21 wurden als kommentierte Präsentationen (Format mp4) über Teams bereitgestellt.
Hinweise zur Klausur
- zugelassene Hilfsmittel zur Klausur sind im Teams zu finden.
Download der Vorlesungsfolien
| Vorlesungen: | Datum: | Inhalt: |
| Vorlesung 01 | 17.10.2024 |
Kap. 0: Organisatorisches Kap. 1: Einführung, Geschichte, Skaleneffekte K.E. Petersen: Silicon as a Mechanical Material Aufruf zum COSIMA-Wettbewerb (2023) |
| Vorlesung 02 | 24.10.2024 |
Abschluss Kap. 1 Kap. 2.1: Technologieüberblick, Reinraumtechnik |
| Vorlesung 03 | 31.10.2024 |
Kap. 2.2: Materialien, Kristallographie, Si: Eigenschaften und Herstellung |
| Vorlesung 04 | 07.11.2024 |
Kap. 2.3: SiO2: Eigenschaften und Herstellung |
| Übung 1 | 07.11.2024 | Übungsblatt 1: Grundlagen, Reinraumtechnik, Silizium |
| Vorlesung 05 |
14.11.2024 |
Kap. 2.4: Dünnschichtabscheidung |
| Vorlesung 06 | 21.11.2024 |
Abschluss Kap. 2.4 |
| Übung 2 | 21.11.2024 | Übungsblatt 2: Silizium, Sliziumdioxid |
| 28.11.2024 | Keine Lehrveranstaltung | |
| Vorlesung 07 | 05.12.2024 |
Kap. 2.5: Dotierung |
| Vorlesung 08 | 05.12.2024 16.00 - 17.30 Uhr |
Kap. 2.6: Lithographie |
| Vorlesung 09 | 12.12.2023 |
Abschluss Kap. 2.6 Kap. 2.7: Ätztechnik |
| Übung 3 | 12.12.2024 | Übungsblatt 3: |
| Vorlesung 10 | 19.12.2024 |
Abschluss Kap. 2.7 |
| Vorlesung 11 | 09.01.2025 |
Kap. 2.8: Volumen- und Oberflächenmikromechanik (als ppsx) |
| Übung 4 | 09.01.2025 | Übungsblatt 4 |
| Vorlesung 12 |
16.01.2025 |
Kap. 2.9: Waferbonden (als ppsx) Kap. 2.10: Aufbau- und Verbindungstechnik (als ppsx) |
| Vorlesung 13 Termintausch |
16.01.2025 16 - 17:30 Uhr |
Kap. 2.11: Galvanik, Abformtechniken, LIGA-Verfahren Kap. 2.12: Zusammenfassung Mikrotechnologien am Beispiel des Drucksensors |
| Übung 5 Termintausch |
23.01.2025 | Übungsblatt 5 |
| Vorlesung 14 | 30.01.2025 |
Kap. 3.1: Passive Mikrokomponenten Kap. 3.2: Überblick Mikrosensorik |
| Vorlesung 15 | 06.02.2025 |
Kap. 3.3: Mikroaktorik, -fluidik Kap. 3.4: Mikrosystemtechnik @ LMT |
| Übung 6 | 06.02.2025 | Übungsblatt 6 |
| Klausur |
1. Klausurtermin - Achtung, nach Absprache geändert: 2. Klausurtermin: |
Weitere Informationen siehe Modulbeschreibung
Rückfragen, Anmerkungen bitte an